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FUJI富士環(huán)形風(fēng)機(jī)在半導(dǎo)體裝備中的應(yīng)用
隨著工業(yè)科技的快速發(fā)展,富士風(fēng)機(jī)已普遍應(yīng)用到各行各業(yè)中,接下來梁瑾小編跟大家一起分享下FUJI富士環(huán)形風(fēng)機(jī)在半導(dǎo)體裝備中的應(yīng)用。富士環(huán)形風(fēng)機(jī)具有低噪音,大風(fēng)量,高壓力,輕量化,易安裝等特點(diǎn)。FUJI富士環(huán)形風(fēng)機(jī)在半導(dǎo)體裝備中的應(yīng)用主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:1.潔凈室環(huán)境控制空氣循環(huán):富士環(huán)形風(fēng)機(jī)用于維持潔凈室的高效空氣循環(huán),確??諝饩鶆蚍植?,減少顆粒物積聚。過濾系統(tǒng)支持:與高效過濾器配合使用,持續(xù)提供潔凈空氣,保持潔凈室的高潔凈度。2.散熱與冷卻設(shè)備冷卻:半導(dǎo)體制造設(shè)備在運(yùn)行中...
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